含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

GC-9280型含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。

氟的技術指標：

項目                                    指標

氟（F2）（體積分數）/10-2                       ≥99

氧（O2）+氮（N2）（體積分數）（N2）/10-2    ≤0.45

四氟化碳（CF4）（體積分數）/10-2            ≤0.05

氟化氫（HF）（體積分數）/10-2                ≤0.5

氟氮混合氣的技術指標：

項目指標

氟（F2）（體積分數）/10-2  　20

氮（N2）（體積分數）（N2）/10-2　80

氧（O2）（體積分數）（N2）/10-2≤0.08

四氟化碳（CF4）（體積分數）/10-2≤0.03

儀器特點

高純氣體分析專用檢測器

氦放電離子化檢測器對H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、等常規雜質均有很高的線性響應。這款檢測器是一種靈敏度高通用型檢測器，對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應，特別適合高純氣體的分析，是能夠檢測至ng/g（ppb） 級的檢測器。

采用中心切割技術，實現儀器的高度自動化

 采用VICI公司生產的吹掃型自動十通閥完成中心切割與反吹技術，配合吹掃型自動六通閥，一次進樣即可完成復雜樣品的分離、選擇、檢測。使樣品經過不同條件的色譜柱進行有效的分離，通過工作站設置的時間程序自動控制吹掃閥的進樣、切割、選柱與反吹等過程。

多柱箱系統

系統配置多個獨立柱箱控溫單元，采用一個主柱箱，多個輔助柱箱對不同色譜柱進行獨立控溫。使不同的色譜柱在不同柱箱中分離樣品、單獨活化，避免在檢測和維護工作中需要拆裝色譜柱的問題。

氦氣純化器：

純化器 Valco 氦氣（HP）純化器的純化基質是 一種無揮發性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層 氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性 氣體環境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴散， 防止氧氣純化層的形成，又可以進行雜質氣體的吸 附。HP 的吸附劑材料具有良好的熱穩定性，包括兩 個溫度控制范圍。 純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 最大操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等

殘留濃度：≤10ppb

無死體積的減壓閥和取樣閥，防止氣體殘留造成的分析干擾

載氣減壓閥采用具有兩級穩壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩定性，確保基線的穩定，同時也降低了閥體內的死體積。

樣品取樣采用無死體積的取樣閥，采用帶吹掃保護的取樣方式，有效的避免了空氣殘留的問題，將取樣過程對分析的影響降至低的水平。

自動斷氣保護功能，保障檢測器的安全運行

具有智能的斷氣保護功能，當載氣壓力小于安全閾值時，系統會自動切斷檢測器電壓，并色譜儀自動降溫，以保護檢測器及色譜柱不受到損壞。

技術指標

氦放電離子化檢測器

檢測限：≤1.0×10-11g／ml（氦中 CH4   ）

基線噪聲：≤0.1mV

基線漂移：≤0.5mV/30min

線性范圍：≥106

氦氣純化器：

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等

純化器類型：可再生純化器

純化級別：7N級甚至更別