氦離子氣相色譜儀對純氦、高純氦和超純氦中痕量雜質的檢測
1、檢測項目
項目 | 指標 | |||
純氦 | 高純氦 | 超純氦 | ||
氦氣(He)純度(體積分數)/10-2 | 99.99 | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
氖氣(Ne)純度(體積分數)/10-6 | 40 | 15 | 4 | 1 |
氫氣(H2)純度(體積分數)/10-6 | 7 | 3 | 1 | 0.1 |
(氧氣(O2)+氬(Ar))純度(體積分數)/10-6 | 5 | 3 | 1 | 0.1 |
氮氣(N2)純度(體積分數)/10-6 | 25 | 10 | 2 | 0.1 |
一氧化碳(CO)純度(體積分數)/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
二氧化碳(CO2)純度(體積分數)/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
甲烷(CH4)純度(體積分數)/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
水分(H2O)純度(體積分數)/10-6 | 20 | 10 | 3 | 0.2 |
總雜質含量(體積分數)/10-6 | 100 | 50 | 10 | 1 |
一般雜質 | ||||||||
種類 | H2 | He | O2 | N2 | Ar | Ne | CO | CO2 |
檢測限 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 500 | 25 | 5 |
碳氫化合物 | ||||||||
種類 | C2H4 | C2H6 | C3H6 | C3H8 | C4H8 | C4H10 | iC4H10 | |
檢測限 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |